型 式
ペア数
寸法 [ mm ]
フランジ
タイプｂ）
A
B
C
263AC-TCK-MS-2-C16
2
69
10
DN16CF
263 AC -TCK-MS-3-C16
3
11
263 AC -TCK-MS-5-C16
5
13
263 AC -TCK-MS-2-C40
57
80
DN40CF
263 AC -TCK-MS-3-C40
263 AC -TCK-MS-5-C40
263 AC -TCK-MS-10-C40
26
ａ）大気用ＭＳソケットが付属しています。 ・真空側端子ピンの直径 ：φ1.4ｍｍ ・真空側の端子ピンの接続には、熱電対圧着ピン（MS導入端子用）をご利用ください。 ・MS熱電対導入端子をヒーター電流導入端子として利用できます。 （端子ピン1本に対する最大電流 ：10Ａ、耐電圧 ：700V）
ｂ）ＣＦフランジの仕様・寸法については、こちらをご覧ください。
263AC-TCK-MSD-2-C40
61
93
263 AC -TCK-MSD-3-C40
263 AC -TCK-MSD-5-C40
263 AC -TCK-MSD-10-C63
72
88
DN63CF
ａ）大気用ＭＳソケット、真空用ＭＳソケットが付属しています。 ・真空用ＭＳソケットはベーキング仕様です。 ・MS熱電対導入端子をヒーター電流導入端子として利用できます。 （端子ピン1本に対する最大電流 ：10Ａ、耐電圧 ：700V）
＜両側ＭＳプラグ付熱電対導入端子（Ｋタイプ2ペア）、 大気用ＭＳソケット （263AC-TCK-MSD-2-C40）＞
