超高真空部品、カプトン電線、真空コネクター、電流導入端子等

製品の選択：　

◆　真空内加熱用部品

1)　真空用ヒーター

マイカヒーター　HV対応

真空度	10^-7 mbar ^ａ）
温度範囲	< 600℃
ヒーター素子材質	ニッケル合金
常温での出力	約8W／cm²
絶縁材質	マイカ（雲母）
電線材質	Ni・Cuより線
電線絶縁材	マイカ・ガラス網絶縁
ヒーター厚み	0.8 mm ^ｂ）

＜備考＞

　　　＜φ38マイカヒーター
　　　　（オプション）セラミックス網クッション２枚・
　　　　　　　　　　　ステンレス取付板＞

ａ)有機接着剤を焼き切った後の値です。

ｂ)電線との接続部の厚み：約5ｍ

セラミックチューブヒーター　UHV対応

アルミナチューブ・キャピラリーおよびヒーター線の組合せです。
複数のチューブ・キャピラリーをセラミック用無機接着剤で留め、銅等の固定用金属板も付けることが
可能です。

真空度	10^-11 mbar ^ａ）
温度範囲	< 1200℃ ^ｂ）

＜備考＞

ａ)電線、アルミナチューブ・キャピラリーの場合です。

ｂ)セラミック用無機接着剤の耐熱温度です。

＜アルミナチューブ・キャピラリー＞　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　＜ステンレス、銅板付きヒーター＞
　　　　　　　　　　　　　　　　　＜セラミック用無機接着剤で固定した
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ヒーター線、アルミナチューブ組合せのヒーター素子＞

2011.11.25追加