超高真空部品、カプトン電線、真空コネクター、電流導入端子等

特　徴

●     超高真空対応

●     高耐熱温度（450℃）

●     高機密性

●     ステンレス316L、316LN製

Allectra社のCFフランジは、準備中の国際規格（ISO3669）に対応しています。

CFフランジには、固定型と回転型、ボルト穴型とタップ穴型があり、さらにこれらの特徴を一つにまとめた、Allectra社オリジナルの「ACFユニバーサルフランジ」をご用意しています。

また、フランジに必要なガスケット、ボルトセット、かじり止めグリス等のアクセサリーや、フランジ変換
アダプター、両面フランジ、フランジ付各種配管部品も取り揃えています。

＜CFフランジ接続断面図＞

＜DN16CFフランジ＞

　CFフランジ分類

Allectra社では、ISO規格と同様、CFフランジの分類に「呼び内径システム（DN）」を採用しています。

このシステムの、他規格との相関関係および寸法詳細は次の通りです。

DN	NW	ICF^ａ）	Allectra社標準パイプ内径 [mm]	一般的なパイプ内径 [mm]	米国規格パイプ内径（インチ）	一般的なフランジ外径[mm]	一般的なフランジ外径（インチ）
16	16 / 19	34	16	16	3/4”	34	1 1/3”
25^ｂ）	25	―	―	22	1”	(54)	(2 1/8”)
40	35 / 38	70	37	35	1 1/2”	70	2 3/4”
50^ｂ）	50	―	―	47	2”	(86)	(3 3/8”)
63	63 / 64	114	64	57	2 1/2”	114	4 1/2“
100	100	152	102	98	4”	152	6”
160	150	203	153	146	6”	203	8”
200^ｃ)	200	253	200	197	8”	254	10”

＜備考＞

ａ）日本国内で使われている、フランジ外径による分類です。

ｂ）DN25とDN50はCF規格の一般的なものではありません。特注品扱いとなります。

ｃ）ご要望に応じて、DN200CFより大きなフランジをご用意できます。（寸法確認が必要）

　CFフランジ等仕様

	ステンレス316L	ステンレス316LN
CFフランジ材質	○	○
パイプ材質	○	－
透磁率	1.005以下

＜備考＞

・ステンレス316Lの特徴：
耐食性が高い、機械的な性能・溶接特性に優れる、透磁率が低い、　ベーキング後のガス放出が少ない、
ベーキング450℃まで焼きなまし効果が起きない

・316Lよりさらに性能の高い特殊ステンレス316LN製のCFフランジもご用意しています。

　ガスケット

[仕様]

	無酸素銅ガスケット	ワイトンガスケット
耐熱温度	450℃	150℃
真空度	10^‐12 mbar	10^‐9 mbar

＜無酸素銅ガスケット＞

[特徴]

種　類

特　徴

無酸素銅

一般使用
繰返しベーキング可

焼なまし無酸素銅

ビューポート等の重要な部分に使用
繰返しベーキング可

銀メッキ無酸素銅

長時間使用可能
繰返しベーキング可

焼なまし銀メッキ
無酸素銅

ビューポート等の重要な部分に使用
長時間使用可能
繰返しベーキング可

ワイトン（Viton）

一時的な接続に適す（検査・テスト等）
再利用可能
繰返し高温ベーキング不可

　ボルトセット

ボルトセットは、六角ボルトセットの他に、植込ボルトセット、
デュアルナット（板にタップ穴２個所）付ボルトセットがあり
ます。

＜六角ボルトセット＞

[各種ボルトの適用]

種　類

適　用

六角ボルト

一般的な使用

植込ボルト

作業場所が狭く、一般のボルトを入れることができない場合に使用

デュアルナット付ボルト

作業場所が狭く、一般のナットを留めることができない場合に使用

[ボルト材質による分類 ]

種　類	特　徴	対応ボルトセット
標準ボルト（ステンレス304）	一般的な使用	六角ボルト植込みボルトデュアルナット付ボルト
銀メッキボルト（ステンレス304）	銀メッキにかじり止め効果があるかじり止めグリスは不要	六角ボルト植込みボルトデュアルナット付ボルト
非磁性ボルト（ステンレス316）	磁性が問題になる場合に使用	六角ボルト植込みボルト

かじり止めグリス

ベーキング時に、熱膨張によりステンレスボルトとナットがかじる場合があります。

ベーキング後、チャンバー、フランジを開ける作業を円滑に行うため、かじり止めグリスの使用をお薦めします。

耐熱温度	1,400℃
色	白

＜備考＞

・銀メッキネジを使用する場合は、かじり止めグリスは不要
です。

＜かじり止めグリス＞