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◆ 真空配管接続部品
1) CFフランジ接続部品
 

特 徴

●     超高真空対応
●     高耐熱温度(450℃)
●     高機密性
●     ステンレス316L、316LN製


Allectra
社のCFフランジは、準備中の国際規格(ISO3669)に対応しています。

CFフランジには、固定型と回転型、ボルト穴型とタップ穴型があり、さらにこれらの特徴を一つにまとめた、Allectra社オリジナルの「ACFユニバーサルフランジ 」をご用意しています。

また、フランジに必要なガスケット、ボルトセット、かじり止めグリス等のアクセサリーや、フランジ変換
アダプター、両面フランジ、フランジ付各種配管部品も取り揃えています。

 
   
<CFフランジ接続断面図>
 
 
 
   
 
 
      
<DN16CFフランジ>
 
 CFフランジ分類
 
Allectra社では、ISO規格と同様、CFフランジの分類に「呼び内径システム(DN)」を採用しています。
このシステムの、他規格との相関関係および寸法詳細は次の通りです。
  
 

DN

NW

ICFa)

Allectra標準パイプ内径
[mm]

一般的な
パイプ
内径
[mm]

米国規格
パイプ
内径
(インチ)

一般的なフランジ
外径[mm]

一般的な
フランジ
外径
(インチ)

16

16 / 19

34

16

16

3/4”

34

1 1/3”

25b)

25

22

1”

(54)

(2 1/8”)

40

35 / 38

70

37

35

1 1/2”

70

2 3/4”

50b)

50

47

2”

(86)

(3 3/8”)

63

63 / 64

114

64

57

2 1/2”

114

4 1/2“

100

100

152

102

98

4”

152

6”

160

150

203

153

146

6”

203

8”

200)

200

253

200

197

8”

254

10”

 
 
<備考>

a)日本国内で使われている、フランジ外径による分類です。

b)DN25DN50CF規格の一般的なものではありません。特注品扱いとなります。

c)ご要望に応じて、DN200CFより大きなフランジをご用意できます。寸法確認が必要)

 
 CFフランジ等 仕様
 
 

 

ステンレス316L

ステンレス316LN

CFフランジ材質

パイプ材質

透磁率

1.005以下

 
 
<備考>

・ステンレス316Lの特徴 :
 耐食性が高い、機械的な性能・溶接特性に優れる、透磁率が低い、 ベーキング後のガス放出が少ない、
 ベーキング
450℃まで焼きなまし効果が起きない

316Lよりさらに性能の高い特殊ステンレス316LN製のCFフランジもご用意しています。

 
 
 ガスケット
 
 
[仕様]  
 

 

無酸素銅ガスケット

ワイトンガスケット

耐熱温度

450℃

150℃

真空度

10‐12 mbar

10‐9 mbar

 
 
 
 
 
                               
       
<無酸素銅ガスケット>
[特徴]
 

種 類

特 徴

無酸素銅

一般使用
繰返しベーキング可

焼なまし無酸素銅

ビューポート等の重要な部分に使用
繰返しベーキング可

銀メッキ無酸素銅

長時間使用可能
繰返しベーキング可

焼なまし銀メッキ
無酸素銅

ビューポート等の重要な部分に使用
長時間使用可能
繰返しベーキング可

ワイトン(Viton

一時的な接続に適す(検査・テスト等)
再利用可能
繰返し高温ベーキング不可

 
 
 ボルトセット
 
ボルトセットは、六角ボルトセットの他に、植込ボルトセット、
デュアルナット(板にタップ穴2個所)付ボルトセットがあり
ます。
 
 
 
 
 
 
     
  <六角ボルトセット>
[各種ボルトの適用]
 

種 類

適 用

六角ボルト

一般的な使用

植込ボルト

作業場所が狭く、一般のボルトを入れることができない場合に使用

デュアルナット付ボルト

作業場所が狭く、一般のナットを留めることができない場合に使用

 
 
 
[ボルト材質による分類 ]
 

種 類

特 徴

対応ボルトセット

標準ボルト
(ステンレス304

一般的な使用

六角ボルト

植込みボルト

デュアルナット付ボルト

銀メッキボルト
(ステンレス304

銀メッキにかじり止め効果がある
かじり止めグリスは不要

非磁性ボルト
(ステンレス316

磁性が問題になる場合に使用

六角ボルト

植込みボルト

 
 
 
かじり止めグリス
 
ベーキング時に、熱膨張によりステンレスボルトとナットがかじる場合があります。
ベーキング後、チャンバー、フランジを開ける作業を円滑に行うため、かじり止めグリスの使用をお薦めします。
 
 
耐熱温度
1,400

<備考>

・銀メッキネジを使用する場合は、かじり止めグリスは不要
 です。

<かじり止めグリス>
 
 
 
 
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