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◆ 真空内加熱用部品
1) 真空用ヒーター
 

特 徴

カプトンフォイルヒーター
●     低温で使用可能
●     薄い
●     曲げやすい
●     HV、UHV対応

小型セラミックスヒーター
●     超小型
●     高耐熱温度
●     高出力
●     UHV対応

 
真空チャンバー内の限られた空間で使用するのに適した、薄型カプトンフォイルヒーター小型セラミックス
ヒーター
 をご用意しています。
 
これらのヒーターは、熱容量が小さく接触面積が大きいため、電流変化に対する反応が速く、温度センサー、
温度コントローラー、冷却システム等とあわせて、精密な温度制御が可能です。

 

 ヒーター仕様
 

 

カプトンフォイル
ヒーター

小型セラミックス
ヒーター

真空度

10-9 mbar/10-11 mbar

10-11 mbar

温度範囲

< 200 ℃

−40℃〜500℃

ヒーター素子材質

ニッケル合金

白金

絶縁材質

カプトンフォイル

Al2O3

電線材質

銀メッキ銅

白金

電線絶縁材質

テフロン/カプトン

なし

 
 
※ ヒーターを真空内で電気接続するための電線、電流導入端子、コネクター等については、
   ■ 真空電気部品 の各項目をご覧ください。
 
※ 真空内で温度制御するためのセンサーとして、真空用熱電対線熱電対用導入端子などをご用意してい
  ます。
 
上記ヒーターの他、マイカ(雲母)ヒーター、セラミックヒーター等(特注)の対応も可能です。
 
 カプトンフォイルヒーターの使用について
 
・真空内では空気の熱伝導がないため、必ずヒーター
 素子の両面全体を隙間なく金属板に接触させてから
 ご利用ください。
 
・電線とヒーター接続部はヒーター本体より厚いため、
 金属板で挟まないでください。
 
・各ヒーターの出力、電流、電圧値は40℃で使用する場合の値のため、高温で使用する場合は、出力を右表のように減じてください。
 
 
 
 
 
       
 
 
  

使用温度[]

40

120

160

最大出力
目安値 []

100

55

20

       
 

2011.11.15更新

 
 
 
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