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◆ 真空マニュピュレーター、導入器
1) 直線導入器
 

特 徴

● 全金属製、超高真空対応
● 手動型または圧縮空気・モーター駆動型
● オプション、特注対応可

直線導入器は、真空の環境において、対象物を導入ポート軸方向に移動させるために使用する機器です。
送りネジ式及び押引き式のそれぞれに、手動型及び自動型のタイプがあります。
 
また、オプション、特注の対応も可能です。
 
 
 直線導入器 共通仕様
 

真空度

UHV10-10 mbar

ヘリウム漏れ量

5×10-10 mbar·l / s

耐熱温度

220a)

材質

ステンレス、アルミニウムb)

シャフトシール

溶接ベローズ

移動範囲

2550100 mm

シャフト径

φ6 mm

耐久性

10,000サイクル

 
<備考>
 
a)本体金属部分の耐熱温度です。
 
b)大気側のモーター、握り、圧縮空気駆動部を除きます。

 

 送りネジ式直線導入器 仕様
 

 

手動

自動

駆動方式

1mmピッチ送りネジ

アクチュエーター

目盛付つまみ

2相ステッピングモーターa)

分解能

10μm /目盛

5μm /ステップb)

再現性

±1μm

シャフト先端

M4タップ穴

 
<備考>
 
a)モーターは2A/相(バイポーラー接続時)、長さ 
 300mm、8本リード線付です。
 
b)フルステップ時の分解能です。
 
 
                                                         
                                                         
   <送りネジ式直線導入器(モーター付)>
 
 押引き式直線導入器 仕様 
 

エアシリンダー

空気圧

( 5 〜 7 ) bar

空気用ポート

M5、φ4 mm用エルボーユニオン付

位置検出器

(オプション)

負荷電圧

DC 24V

負荷電流

( 5 〜 40 ) mA

インジケーター

赤LED

リード線長さ

3 m

大気側シャフト延長

(オプション)

最短長さ

21 mm

固定用先端部

M6、16 mma)

圧縮空気ソレノイド

(オプション)

電圧

DC 24Vb)

最大消費電力

1W以下

リード線長さ

約0.3 m

 
<備考>
 
a)六角ナット付です。
 
b)230V ACも可能です。 
 
 
 
 
                                                         
                                                         
  <押引き式直線導入器 及びオプション>
 
 
 
 
 
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