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| ◆ 真空マニュピュレーター、導入器 |
| 1) 直線導入器 |
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特 徴 |
● 全金属製、超高真空対応
● 手動型または圧縮空気・モーター駆動型
● オプション、特注対応可 |
直線導入器は、真空の環境において、対象物を導入ポート軸方向に移動させるために使用する機器です。
送りネジ式及び押引き式のそれぞれに、手動型及び自動型のタイプがあります。
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| 直線導入器 共通仕様 |
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真空度 |
UHV（10-10 mbar） |
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ヘリウム漏れ量 |
5×10-10 mbar·l / s |
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耐熱温度 |
220℃ａ） |
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材質 |
ステンレス、アルミニウムｂ） |
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シャフトシール |
溶接ベローズ |
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移動範囲 |
25、50、100 mm |
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シャフト径 |
φ6 mm |
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耐久性 |
10,000サイクル |
＜備考＞
ａ）本体金属部分の耐熱温度です。
ｂ）大気側のモーター、握り、圧縮空気駆動部を除きます。
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| 送りネジ式直線導入器 仕様 |
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手動 |
自動 |
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駆動方式 |
1mmピッチ送りネジ |
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アクチュエーター |
目盛付つまみ |
2相ステッピングモーターａ） |
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分解能 |
10μm /目盛 |
5μm /ステップｂ） |
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再現性 |
― |
±1μm |
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シャフト先端 |
M4タップ穴 |
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＜備考＞
ａ）モーターは2A/相（バイポーラー接続時）、長さ
300mm、8本リード線付です。
ｂ）フルステップ時の分解能です。
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＜送りネジ式直線導入器（モーター付）＞ | |
| 押引き式直線導入器 仕様 |
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エアシリンダー |
空気圧 |
( 5 〜 7 ) bar |
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空気用ポート |
M5、φ4 mm用エルボーユニオン付 |
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位置検出器
（オプション） |
負荷電圧 |
DC 24V |
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負荷電流 |
( 5 〜 40 ) mA |
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インジケーター |
赤LED |
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リード線長さ |
3 m |
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大気側シャフト延長
（オプション） |
最短長さ |
21 mm |
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固定用先端部 |
M6、16 mmａ） |
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圧縮空気ソレノイド
（オプション） |
電圧 |
DC 24Vｂ） |
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最大消費電力 |
1W以下 |
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リード線長さ |
約0.3 m |
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＜備考＞
ａ）六角ナット付です。
ｂ）230V ACも可能です。
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＜押引き式直線導入器 及びオプション＞ |
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