超高真空部品、カプトン電線、真空コネクター、電流導入端子等

特　徴

●     超高真空対応

●     高耐熱温度（瞬間350℃まで）

●     低温環境で使用可能

●     密封面：ステンレス316Lまたはチタン

Atlas社の複層金属CFフランジ（Atlas CF Flanges™）は、アルミニウム・ステンレスの爆着（爆発接合）により形成され、アルミニウムが持つ特性を超高真空チャンバー材料に利用する可能性を実現したものです。

複層金属CFフランジには、固定型と回転型、ボルト穴型とタップ穴型があり、さらに取付方法・使用環境により様々な構成の製品をご用意しています。

また、CFフランジに必要なガスケット、ネジ、アクセサリーや、フランジ変換アダプター、両面フランジ、フランジ付各種配管部品も取り揃えています。

　複層金属CFフランジ仕様

材質^ａ⁾		密封面	ステンレス316L
		中間層	銅、チタン、純粋アルミニウム
		本体	アルミニウム合金
到達真空度			1 × 10^-11 mbar
ヘリウム漏れ率			1 × 10^-9 mbar×l / sec.以下
使用温度範囲^ｂ⁾			( 0 ~ 250 )℃
瞬間耐熱温度			350℃ / 2 min.以内
接合部強度特性	引張力		103 N / mm²
	せん断力		69 N / mm²

＜備考＞

ａ）・ステンレス316Lの特徴：
    耐食性が高い、機械的な性能・溶接特性に優れる、透磁率が低い、　
    ベーキング後のガス放出が少ない、ベーキング450℃まで焼きなまし効果が起きない
   ・アルミニウム合金： Mg・Si系6061 T6合金
   ・回転型フランジの場合、ボルト用リングはフランジ構成によりステンレス304、またはアルミニウム合金

ｂ）低温用変換ネック付CFフランジの使用温度範囲：（－200～250）℃

その他）アルミニウムの標準溶接方式（TIG溶接、電子ビーム溶接等）の使用が可能

＜上：複層金属CFフランジ類＞

＜左：複層金属フランジが溶接された
　　　　アルミニウムチャンバー部品＞

　型式構成について

Atlas社製複層金属CFフランジの、型式構成は次のとおりです。

　　AT[外径] － [金属] － [本体構成、フランジタイプ、内径] － [穴タイプ]

（例）AT2.75-AL/SS-WNNR1.25-C

　　DN40CF（ICF70、2.75インチ）　－　アルミニウム・ステンレス複層金属フランジ

　　－　溶接ネック付－固定型、パイプ内径31.8mm（1.25インチ）　－　ボルト穴型

項目	記号	説明	備考
外径	1.25～ 16.50	フランジ外径（インチ）	DN16CFから外径419mmまでのサイズあり
金属	AL/SS	アルミニウム／ステンレス	標準構成回転フランジのボルト用リングはステンレス
	AL/RS	アルミニウム／縮小ステンレス	・使用ステンレス量を少なくしたタイプ・回転フランジのボルト用リングはアルミニ　ウム合金・TN、TNA構成タイプ不可
	AL/TI	アルミニウム／チタン	回転フランジのボルト用リングはアルミニウム合金
本体構成	WN	溶接ネック付CFフランジ	フランジ裏面に溶接用のパイプネック付き
	FM	埋込形CFフランジ	フランジのみのタイプ
	TN	フランジ溶接用継ぎ手	変換ネック継ぎ手のみ（一般的なステンレスフランジ溶接可能）
	TNA	低温用変換ネック付CF フランジ	標準ステンレスフランジに変換ネック継ぎ手が溶接されているタイプ
フランジタイプ	NR	固定型	全ての構成タイプに対応可能
フランジタイプ	R	回転型	・WN構成タイプのみ・ボルト用リングの材質は金属タイプによる
内径	0.50～ 13.75	パイプ内径（インチ）	DN16CFの12.7mmから349.3mmまで
内径	B	ブランク	WN、TNA構成タイプは、パイプ部分を含めブランク
穴タイプ	C	φ4.4～φ9.9mmボルト穴型	フランジサイズによる
	US	8-32～5/8-18インチタップ穴型	・UNCまたはUNFボルト・フランジサイズによる
	ｍm	M4～M8メトリックタップ穴型	フランジサイズによる

＜備考＞

・標準品（AL/SS）と異なる金属の組合せ、構成、寸法などの特注にも対応いたします。

・低温用変換ネック付CFフランジは、熱膨張により接合部で発生するひずみが密封面、およびガスケット
　に影響しないよう設計されています。


＜溶接ネック付（WN）　　AL/SS固定型フランジ＞	＜埋込形（FM）　　AL/SS固定型フランジ＞	＜低温用変換ネック付（TNA）　　　AL/SS固定型フランジ＞

・複層金属CFフランジの寸法は、各製品ページをご覧ください。

・CF規格フランジの分類、寸法の詳細はこちらをご覧ください。