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◆ 真空内外電気接続部品
5) D-sub 真空内外接続部品
 

特 徴

●     真空内外接続部ともD-sub規格に対応
●     高真空、超高真空対応のコネクター
●     カプトン絶縁被覆ケーブル
●     特注品対応可能
 

Allectra社のD-sub電流導入端子D-subケーブルD-subコネクター等の真空用接続部品は、世界
標準のサブミニアチュアD規格(DIN 41652、MIL-C-24308)に対応しています。
 
真空側にD-sub規格の真空対応コネクター、ケーブルを利用し、大気側は一般的なD-subコネクター、
ケーブルを利用することで、真空側、大気側とも同じ結線方法による電気接続が可能です。
 
真空用コネクターピン圧着工具ピン取外し工具など、様々なアクセサリもご用意しています。
 
 
 
 D-sub電流導入端子仕様
           

 

溶接用
タイプ

CF
フランジ
タイプ

KFISO
フランジ
タイプ

本体材質

オーステナイトステンレス鋼

ピン材質

Ni:Fe合金、Niメッキ

耐電圧

500V / pin

耐電流

5A / pin (全ピン負荷max.3A)

耐熱温度

220°C

150°C

耐温度変化

25 K/min.

真空度

10-11 mbar

10-8 mbar

He漏れ率

5×10-10 mbarl / s

                     
 
 
           
<備考>
・コネクターネジ留め穴:UNC-C40タップ、深さ4mm(D-sub規格) 
 
・電流導入端子の大気側・真空側ともプラグ仕様です。
 絶縁材はガラス、真空側はセラミックスキャップ付です。
 
・ピン保護のため、コネクター部が端子本体のハウジングで囲まれています。
 
・溶接用、CFフランジタイプの電流導入端子は低温での利用が可能です。
 
・溶接用電流導入端子の推奨溶接方法は、充填材なしのTIG溶接、電子ビーム、またはレーザー溶接
 です。
 
                  
     <液体窒素で検査後の
      溶接用D-sub電流導入端子>
      
  
   <溶接用D-sub電流導入端子、
      HV対応コネクターおよびピン>
 
 D-sub真空用ケーブル
  

 

超高真空用ケーブル

高真空用ケーブル

ケーブル絶縁被覆

カプトン

カプトン or PTFE

接続コネクター

セラミックスコネクター
PEEKコネクター

高真空用コネクター

 
 
 
 
 
 
 
 
 
<電流導入端子(210AC-D15-CF40)
 +PEEKコネクター付ケーブル(380AC-D15-FXPR-500>
 
 

 

超高真空用
セラミックスコネクター

超高真空用
PEEKコネクター

高真空用コネクター

本体材質

非多孔性セラミックス

PEEK

ガラス入重合体a)

ケース材質

ステンレス

耐熱温度範囲

4K 300°C

4K 250°C

55°C 110°C

真空度

10-11 mbar

10-11 mbar

10-8 mbar

 
<備考>
 
a)DAP:ジアリルフタレート樹脂
 <超高真空用
  セラミックスコネクター>
   <超高真空用
     PEEKコネクター>
<高真空用コネクター>
 
 ハウジング仕様
   

 

超高真空用コネクター
(セラミックス、PEEK
対応ハウジング

高真空用コネクター
対応ハウジング

材質

アルミニウム

ニッケルメッキ亜鉛

耐熱温度範囲

< 300°C

55°C 110°C

真空度

10-11 mbar

10-8 mbar

 
  
 
  <高真空用コネクター、
      ハウジング付(D-sub15ピン)>
     
 
   <超高真空用コネクター(PEEK)、
       ハウジング付(D-sub9ピン)>
 
 D-sub真空用コネクターピン仕様a)
 

ピン
タイプ

材 質

対応
電線直径[ mm ]

備 考

標準

金メッキ銅合金b)
外周一部ステンレス

0.25 ~ 1

ピン脱着部分の外周部を筒状のステンレスで覆っているため、剛性がある

B

金メッキ銅合金b)

0.25 ~ 1

標準タイプと異なり、コネクターを頻繁に脱着する環境には適さない

S

金メッキ銅合金b)
外周一部ステンレス

0.08 ~ 0.5

細い電線に対応

NH

金メッキ銅合金b)

0.25 ~ 1

コネクターを利用せず、電流導入端子に直接差し込むタイプ

Ni

ニッケルメッキ銅合金

0.25 ~ 1

半導体加工における環境に適する

K

クロメル、アルメル

0.25 ~ 1

Kタイプ熱電対接続用c)

 
<備考>
 
a)ピンは全て超高真空対応です。

b)ニッケルメッキ上に金メッキをしているため、ピンに多少磁性があります。
 
非磁性のピンをご希望の場合はお問合せください。

c)NTタイプ熱電対ピンも可能です。

2011.9.6更新

 
 
 
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