超高真空部品、カプトン電線、真空コネクター、電流導入端子等

製品の選択：　

◆　真空内外電気接続部品

5)　D-sub 真空内外接続部品

D-sub電流導入端子

溶接用タイプ^ａ）UHV対応

型式

ピン数

寸法　[ mm ]

A^ｂ）

B

C

218AC-D09-SS

9

33.0

14.5

9.5

218AC-D15-SS

15

38.0

16.5

9.5

218AC-D25-SS

25

55.0

19.6

9.5

218AC-D37-SS

37

70.0

19.6

9.5

218AC-D50-SS

50

68.0

19.6

12.2

＜備考＞

ａ）コネクターネジ留め穴：UNC 4-40タップ、深さ4mm（D-sub規格）

ｂ）端子の両端は直径φＢの半円形です。

　　　＜溶接用タイプD-sub電流導入端子寸法図

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（218AC-D15-SS）＞

CFフランジタイプ^{ａ) ｂ)} 　UHV対応

型式	コネクタ数	ピン数	フランジサイズ
210AC-D09-C40	1	9	DN40CF（ICF70）
210AC-D15-C40^ｃ⁾	1	15	DN40CF（ICF70）
210AC-D15-C63	1	15	DN63CF（ICF114）
210AC-D15-C63-2	2	15	DN63CF（ICF114）
210AC-D15-C63-3	3	15	DN63CF（ICF114）
210AC-D25-C40^d^）^e^）	1	25	DN40CF（ICF70）
210AC-D25-C63	1	25	DN63CF（ICF114）
210AC-D25-C63-2	2	25	DN63CF（ICF114）
210AC-D37-C100	1	37	DN100CF（ICF152）
210AC-D50-C63^ｃ⁾	1	50	DN63CF（ICF114）
210AC-D50-C100	1	50	DN100CF（ICF152）

KFフランジタイプ^ａ) HV対応

型式

コネクタ
数

ピン数

フランジ
サイズ

210AC-D09-K25^d^）^e^）

1

9

DN25KF（NW25）

210AC-D09-K40

1

9

DN40KF（NW40）

210AC-D15-K40^ｃ⁾

1

15

DN40KF（NW40）

210AC-D15-K50

1

15

DN50KF（NW50）

210AC-D25-K50^d^）

1

25

DN50KF（NW50）

ISOフランジタイプ^ａ) HV対応

型式

コネクタ
数

ピン数

フランジ
サイズ

210AC-D15-ISO63-2

2

15

ISO-K63

210AC-D15-ISO63-3

3

15

ISO-K63

210AC-D25-ISO63

1

25

ISO-K63

210AC-D25-ISO63-2^c^）

2

25

ISO-K63

210AC-D37-ISO100

1

37

ISO-K100

210AC-D50-ISO63^ｃ⁾

1

50

ISO-K63

210AC-D50-ISO100

1

50

ISO-K100

＜備考＞

ａ）必要に応じて、コネクター数、フランジタイプ、フランジ径を変更できます。

ｂ）CFフランジのステンレス材質：SUS316L

ｃ）ピン数によるコネクタの大きさに対しフランジ径が小さいため、専用のソケットが必要です。

　　　高真空用（HV）コネクター：Ｓタイプ（角を加工）　　　　　（D-sub高真空用コネクター参照）

ｄ）真空側にD-sub固定ネジ用穴がないタイプの電流導入端子のため、専用のソケットが必要です。

　　　超高真空用（UHV）コネクター：Ｓタイプ
　　　高真空用（HV）コネクター： SXタイプ（留めネジ用穴付、ケースなし）

　　　（D-sub超高真空用コネクターおよび D-sub高真空用コネクター参照）

e）フランジと一体型のタイプです。

　　

＜D-sub電流導入端子（CFフランジ付）と

D-sub高真空用コネクター＞

　　

　　　＜特注フランジに溶接された

　　　　　　　D-sub 15・25ピン端子（真空側）＞

　　　　

　　　大気側：相手側フランジに取付けた状態

　　　　　

　　

　　真空側：Oリング・センターリングと

　　　　　　　高真空用コネクター（9ピン、SXタイプ）
　　　　　　　＜９ピンD-sub電流導入端子（210AC-D09-K25、フランジと一体型タイプ）＞

※　各フランジタイプの仕様については info をご覧ください

※　CFフランジの寸法、ガスケット・ボルト選択については、「CFフランジ接続部品」の info を
　　ご覧ください

2011.9.8更新