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製品の選択: 
 
◆ 真空内外電気接続部品
5) D-sub 真空内外接続部品
 
 D-sub電流導入端子 
 
溶接用タイプa)  UHV対応

型 式

ピン数

寸法 [ mm ]

Ab)

B

C

218AC-D09-SS

9

33.0

14.5

9.5

218AC-D15-SS

15

38.0

16.5

9.5

218AC-D25-SS

25

55.0

19.6

9.5

218AC-D37-SS

37

70.0

19.6

9.5

218AC-D50-SS

50

68.0

19.6

12.2

 
備考

a)コネクターネジ留め穴:UNC 4-40タップ、深さ4mmD-sub規格)

b)端子の両端は直径φBの半円形です。
 
 
   <溶接用タイプD-sub電流導入端子寸法図
                    (218AC-D15-SS)>
 
 
 
 CFフランジタイプa) b)  UHV対応

型 式

コネクタ

ピン数

フランジ
サイズ

210AC-D09-C40

1

9

DN40CF(ICF70)

210AC-D15-C40)

1

15

DN40CF(ICF70)

210AC-D15-C63

1

15

DN63CF(ICF114)

210AC-D15-C63-2

2

15

DN63CF(ICF114)

210AC-D15-C63-3

3

15

DN63CF(ICF114)

210AC-D25-C40de

1

25

DN40CF(ICF70)

210AC-D25-C63

1

25

DN63CF(ICF114)

210AC-D25-C63-2

2

25

DN63CF(ICF114)

210AC-D37-C100

1

37

DN100CF(ICF152)

210AC-D50-C63)

1

50

DN63CF(ICF114)

210AC-D50-C100

1

50

DN100CF(ICF152)

 

 KFフランジタイプa) 
 HV対応 

型 式

コネクタ

ピン数

フランジ
サイズ

210AC-D09-K25de

1

9

DN25KFNW25

210AC-D09-K40

1

9

DN40KFNW40

210AC-D15-K40)

1

15

DN40KFNW40

210AC-D15-K50

1

15

DN50KFNW50

210AC-D25-K50d

1

25

DN50KFNW50


ISOフランジタイプa)  HV対応

型 式

コネクタ

ピン数

フランジ
サイズ

210AC-D15-ISO63-2

2

15

ISO-K63

210AC-D15-ISO63-3

3

15

ISO-K63

210AC-D25-ISO63

1

25

ISO-K63

210AC-D25-ISO63-2c

2

25

ISO-K63

210AC-D37-ISO100

1

37

ISO-K100

210AC-D50-ISO63)

1

50

ISO-K63

210AC-D50-ISO100

1

50

ISO-K100

<備考>

a)必要に応じて、コネクター数、フランジタイプ、フランジ径を変更できます。
 
b)CFフランジのステンレス材質:SUS316L
 
c)ピン数によるコネクタの大きさに対しフランジ径が小さいため、専用のソケットが必要です。
   高真空用(HV)コネクター     : Sタイプ(角を加工)     (D-sub高真空用コネクター 参照)
 
d)真空側にD-sub固定ネジ用穴がないタイプの電流導入端子のため、専用のソケットが必要です。

   超高真空UHV)コネクター : Sタイプ
   
高真空HV)コネクター     : SXタイプ(留めネジ用穴付、ケースなし

   (D-sub超高真空用コネクター および D-sub高真空用コネクター 参照)

e)フランジと一体型のタイプです。

  
 <D-sub電流導入端子(CFフランジ付)と
                  D-sub高真空用コネクター>
  
   <特注フランジに溶接された
       D-sub 15・25ピン端子(真空側)>
    
   大気側:相手側フランジに取付けた状態
     
  
  真空側:Oリング・センターリングと
       高真空用コネクター(9ピン、SXタイプ)
       <9ピンD-sub電流導入端子 (210AC-D09-K25、フランジと一体型タイプ )>

 
 
 
※ 各フランジタイプの仕様については info をご覧ください
 
※ CFフランジの寸法、ガスケット・ボルト選択については、「CFフランジ接続部品」の info 
  ご覧ください
 
 
2011.9.8更新
 
 
 
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